Produktionsanlage für Trimethylgallium

Die Umicore AG & Co. KG errichtet eine Produktionsanlage für Trimethylgallium (TMG). TMG wird bei der Herstellung von Halbleiterschichten benötigt. Das Pilotprojekt wird aus dem Umweltinnovationsprogramm mit 1,4 Millionen  Euro gefördert.

Mit dem neuen Verfahren kann im Vergleich zum derzeitigen Stand der Technik die Ausbeute an TMG erhöht und auf organische Lösemittel verzichtet werden. Das TMG soll durch chemische Umsetzung von Galliumtrichlorid mit einem Methylierungsmittel hergestellt werden. Entstehende Zwischenprodukte werden im Prozess rezykliert. Das resultierende Rohprodukt wird anschließend feindestilliert, um die für die Halbleitertechnik hohe Reinheit von nahezu 100 Prozent zu erreichen. Die bei der Reaktion anfallende Restsalzschmelze wird thermisch behandelt und der verbleibende Salzkuchen entsorgt. Gegenüber dem Stand der Technik kann die Ausbeute an TMG, bezogen auf eingesetztes Gallium, nahezu verlustfrei realisiert werden. Weiterhin kann vollständig auf den Einsatz organischer Lösungsmittel verzichtet werden. Außerdem reduziert sich die Abfallmenge pro Kilogramm TMG um mehr als 50 Prozent.

www.umicore.de

Foto: Umicore

(EUR1015S33)